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Home >제품소개> Glass Panel 초음파 건식세정기(단면)
 
· 두께가 0.4mm 이상의 Panel을 초음파 공기에 의한 비접촉 방식의 단면 건식 세정기입니다.
· Panel를 Vacuum stage에 진공 흡착 후 USC Head를 이송하는 A-type
· Panel를 Vacuum stage에 진공 흡착 후 Vacuum stage를 이송하는 B-type
1 세정기 Panel 공급 및 취출 Robot hand에 의한 공급취출
세정 Type Nozzle head에 왕복동작에 의한 세정 (A-type)
Stage에 왕복 동작에 의한 세정 (B-type)
Suction table 재질 Aluminum 및 Fluorine Coation(NF685B) (박리 대전량 1kv미만)
Suction table line Vacuum line외 부분을 #형상의 양각 또는 음각 구조로 접촉면 최소화
2 Blower Pressure line filter Ulpa filter_0.1㎛ / 99.9995% OVER
Vacuum line filter Pre filter 20㎛
Motor 과열방지 Blower fan 마찰열을 자동냉각 시키는 System구성
절전기능 소비전력을 세정시 100% 사용, 대기시 50% 사용하는 기능
3 전기제어 조작 Panel Touch panel 및 PLC 자동제어
4 기 타 Stage cleaning 기능 USC 운전 대기시 자동 Stage 크리닝
Panel 지정 매수 운전 후 Stage 크리닝
  • 본 시스템은 LCD 및 OLED 및 기타 미세이물을 제거하고자 하는 공정에서 Panel에 있는 Particel을 USC Head에서 분사하는 초음파화된 Clean Pressure Air로 기판상의 공기층을 파괴한 후 비점착성 미세 Particle을 분리하여 High speed vacuum으로 제거하는 V-U-V Type의 Ultrasonic dry cleaner입니다.
1 적용 Panel / 유효길이 300×400~2500×2800(mm)
2 적용 Panel 두께 0.4mm 이상
3 적용 공정 LCD, OLED, PDP, Solor Panel, 평판 SHEET 및 Roll panel류
4 세정능력 1.6㎛ 이상 스페이서 파우더 98% 이상 제거
5 대응 반송 Speed 50~250mm/sec
6 Tact time 35sec/1ea (반송 speed 250mm/sec)
7 Head type(Single방식) Vacuum - Ultrasonic pressure - Vacuum (VUV)
8 세정 Pressure 압력 13+-2kpa
9 Panel과 세정 head 표준 gap 1.5~2.0mm
10 전원사양 200/220V 3상 50/60Hz, 380/440V 3상 50/60Hz
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