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Home >제품소개> Photo mask 초음파 건식세정기
 
노광기 Photo mask를 비접촉 건식으로 세정하는 초음파 건식 세정기
· 초음파 공기에 의한 비접촉 방식의 단면 건식 세정이 가능합니다.
· Glass를 Jig 및 진공 흡착 후 USC Head 이송에 의한 Cleaning 방식입니다.
· Mask 보관 Cassette에서 Cover 분리, 세정, Cover 장착공정이 전 자동으로 이루어집니다.
1 Photo mask 투입 및 배출 Cassette와 함께 대차에 의한 수동 투입 및 배출
분리 및 고정 가공형 진공 Stage
이동구간 1구간 1행정으로 위치변화 극소화 실현
2 Cassette 규격 Photo Mask보관용 Cassette 2개 Model
투입 및 배출 Cassette 전용 대차
3 Blower Pressure line filter Ulpa filter_0.1㎛ / 99.9995% OVER
Vacuum line filter Pre filter 20㎛
4 전기제어 조작 Panel Touch panel에 의한 대화형 조작
안전장치 Servo 기능을 이용한 Photo mask 손상방지 Program
설비운전녹화 CCD 카메라에 의한 실시간 녹화
  • 본 시스템은 LCD, OLED 제조공정중 노광 공정에서 Photo mask 표면의 부유성 이물을 초음파 Air에 의한 비접촉 방식으로 세정하는 설비입니다.
1 적용 Photo mask size 1220 ×1400 / 850 × 1400 (mm)
2 적용 Photo mask 두께 10/13 (mm)
3 Tact time 250sec / 1mask
4 세정능력 1.6㎛ 이상 스페이서 파우더 98%이상 제거
5 세정 구간 Head Speed 5~250mm/sec
6 Head type(Single 방식) Vacuum - Ultrasonic pressure - Vacuum (VUV)
7 세정 Pressure 압력 13+-2kpa
8 Photo mask와 세정 head의 표준 gap 2.0~2.5mm
9 공급용력 전원 : 200/220V 3상 50/60Hz, 380/440V 3상 50/60Hz CDA:5~6 kg/㎤
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